当前，半导体新建工厂以提高产能需求愈发迫切，而在其背后，制造厂商普遍面临稳节拍、去库存、增柔性、保质量的挑战，通过移动机器人完成物流自动化改造，实现工厂的智能化升级，正成为半导体厂商的普遍选择。

作为国内移动机器人头部企业代表，优艾智合面向半导体生产的工业物流解决方案，应用于晶圆制造、芯片封测等全产业链环节，帮助众多国内外半导体制造厂商实现了效率效益双提升的目标。

优艾智合打造的半导体智慧物流解决方案，以晶圆盒搬运机器人为基础，搭载YOUI Pilot导航系统、YOUI Fleet机器人调度系统，及YOUI TMS场内物流管理系统，实现晶圆盒在机台、电子料架、存储仓等不同工序间的自动转运，同时打通全生产周期的物质流与信息流，保障物料数据全流程可追溯。

适配精密生产的超强性能

不同于晶圆厂传统天车系统的部署模式，移动机器人全时工作、柔性调度等特点，使其成本相对天车系统大幅降低。同时，移动操作机器人在搬运基础上可自动上下料，打通整场的物质流和数据流，有效保证良率、提高产能。

然而，半导体精密的生产条件也对移动机器人提出了极高的要求。首先，由于行业特性，移动机器人自身的洁净度等级至少需要达到CLASS100。其次，晶圆片昂贵易碎，这就要求移动机器人在搬运、存放晶圆盒时必须做到精准和稳定。此外，半导体生产工序繁多、设备布局集中，移动机器人在各工序之间频繁、重复地进行转运工作，就需要机器人拥有足够稳定的运行速度以及jingque到毫米级别的定位精度。

在历时两年的场景调研和产品打磨后，优艾智合推出了整体性能业内最优水平的晶圆盒搬运机器人——OW系列。

作为优艾智合软硬一体解决方案集大成者，OW系列可满足CLASS-1洁净车间等级要求，正常搬运时振动值在0.2G以内，优于国际SEMI标准规定的0.5G，有效避免搬运过程中产生振动导致裂片，保障晶圆稳定安全运转。

OW系列的研发与推出，历经2年的充分场景认证和产品打磨。半导体专家团队在客户现场充分调研验证，细化可能涉及到的如避振、安全板块等功能，打造出对应的样机产品，并进行不断地迭代升级，在场景与产品性能中找到zuijia平衡点，既在实验室进行充分的实验，也在3C等类似行业进行产品的验证，在长达2年后的多方验证后，优艾智合的OW系列晶圆搬运机器人产品才正式在客户工厂落地。

在某全球zhiming晶圆厂的物流自动化改造中，优艾智合应用晶圆盒搬运机器人实现晶圆盒精准上下料及搬运，共节省人力60余人，减小无尘车间污染带来的风险，提升了良品率，同时避免人工搬运带来的损坏问题，且减少操作员30%无效行走。在效能上，移动机器人提高电子料架利用率66%，生产节拍稳定连续，整厂生产效率提高2%。

多重防护保障晶圆安全稳定流转

将移动机器人结合半导体场景做到jizhi性能，不是一件易事。

首先要保障晶圆盒抓取和上下料的juedui精准。OW系列在机械臂的末端执行部分搭配超声波传感器、3D视觉、在位检测器、储位锁等多种传感器，多重感知防护保证抓取作业的稳定。

超声波传感器灵敏度高、穿透力强、受环境影响弱，有效防止抓取叠料产生的晶圆盒磕碰的情况，同时检测人工抢料的情况。视觉定位算法通过定位补偿策略，保障晶圆盒放入料口时与loadport的方向juedui平行，保障晶圆盒与设备之间的安全距离，避免因放入角度不恰当、狭小环境等因素导致设备与晶圆盒产生碰撞的风险。夹爪末端还搭载有末端在位检测传感器，在运动过程中实时检测晶圆盒在夹爪上的固定状态，一旦在位检测传感器触发，末端执行器立即紧急停止作业。

在抓取过程中，超声波传感器、视觉定位相机、在位检测器等传感器模块将进行持续的实时监测，只有三大模块均无报错情况，机械臂才会执行相应操作，保障晶圆盒上下料及搬运操作稳定安全。

在作业中，搭载晶圆盒运动的车体保持稳定是关键。OW系列凭借过强的单机性能，有效避免搬运过程中出现振动等情况，同时配有激光雷达、3D视觉、坑洞传感器等检测设备，可避免更多突发情况的产生，最终保证了行驶时的稳定可靠。

OW系列车身对角线及竖直面分别配置激光雷达，360度水平面及垂直面障碍物实时监测，构建立体安全区域，3D视觉在激光雷达基础上进行安全性补充，有效识别地面突起等障碍物，实时反馈车辆减速或重新规划路线，从移动导航上来保证OW系列产品的平稳运行。在半导体行业工厂里面，地板大小多为60×60的高架地板，地板的维修需要将地板拆卸出来，人工钻进地板下进行检修，OW系列晶圆搬运机器人配有专业的坑洞传感器，有效检测地板的实时状况，避免车辆跌落至坑洞。

同时，OW系列的激光雷达、视觉、坑洞检测等模块均为常闭型设置，某一模块出现异常情况或无法正常启用时，OW系列将不会执行作业；只有所有模块均正常运作，OW系列才会执行作业，做到全方位的保障。

遇到突发情况时，OW系列的低电保护、断网保护等多重防护保障作业“无忧”，根据客户现场存在的更多现状，OW系列产品还设有更多的特定功能模块，保证了在诸多情况下产品的正常运作、物料的安全无恙。

目前，优艾智合智慧物流解决方案已服务于国内外众多zhiming半导体制造企业，并凭借专业可靠的服务获得头部企业的持续复购。国产芯片黄金爆发期下，优艾智合将持续以专业可靠的解决方案服务半导体行业，赋能中国芯片智造。

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